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3軸加速度在線振動傳感器

更新時間:2023-12-28

訪問量:301

廠商性質:代理商

生產地址:

簡要描述:
3軸加速度在線振動傳感器
常用于:半導體 晶片生產中使用的多關節機器人的振動檢查,
生產半導體晶片時,必須使用多關節機器人進行生產,3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測到發生了異常的沖擊,
3軸加速度傳感器MA3系列"通過模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導入PLC,設置閾值進行判定
品牌MICROSTONE/微石

3軸加速度在線振動傳感器

3軸加速度在線振動傳感器


3軸加速度傳感器引線型

半導體晶片生產中使用的多關節機器人的振動監視開發·面向品質管理的事例介紹

生產半導體晶片時,必須使用多關節機器人進行生產。

在這種情況下,機器人搬運時給產品帶來的異常沖擊會導致產品質量劣化,因此是一個很大的課題。

因此,本公司產品的“3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測到發生了異常的沖擊,因此有組裝到機器人中使用的例子。

“3軸加速度傳感器MA3系列"通過模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導入PLC,設置閾值進行判定。

根據判定結果通知異常,根據情況也可以停止設備。

“3軸加速度傳感器MA3系列"有通用型和高頻型兩種,可以根據產生的加速度的頻帶選擇。

另外,根據發生的加速度的大小,也可以選擇測量范圍。

設備狀態監測的最佳一臺建議!

支持高G、高頻的3軸加速度傳感器

不需要內置放大器工程,連接也很簡單。

國內生產、高品質、公司內部校正品質支持體制完備。

沖壓機發生異常時自動停止,防止模具破損和成品率下降

拾音器的對應幅度很豐富。沖壓機的高G高頻的沖擊也能測量。

不僅是加工裝置的異常發生,還進行原因的確定,提高成品率、生產效率

通過對加速度的測量數據進行頻率分析等,確定發生異常預兆的部件。

將切削加工裝置與其他公司制造的PLC(序列發生器)連接,也可以進行導入成本低的異常監視

因為是內置放大器,所以只需直接連接已經導入的PLC就可以測量。


型式検出範囲
5VDC入力時3VDC入力時 ※1
MA3-04AD±40m/s2
(±4G)
±20m/s2
(±2G)
MA3-10AD±100m/s2
(±10G)
±50m/s2
(±5G)
MA3-20AD±200m/s2
(±20G)
±100m/s2
(±10G)
MA3-50AD±500m/s2
(±50G)
±250m/s2
(±25G)
MA3-100AD±1000m/s2
(±100G)
±500m/s2
(±50G)
MA3-1000AD±10000m/s2
(±1000G)
±10000m/s2
(±1000G)

※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場合、こちらの検出範囲になります。

検出感度
型式検出感度
MA3-04AD50mV/m/s2 ±10%
(500mV/G ±10%)
MA3-10AD20mV/m/s2 ±10%
(200mV/G ±10%)
MA3-20AD10mV/m/s2 ±10%
(100mV/G ±10%)
MA3-50AD4mV/m/s2 ±10%
(40mV/G ±10%)
MA3-100AD2mV/m/s2 ±10%
(20mV/G ±10%)
MA3-1000AD0.1mV/m/s2 ±10%
(1.0mV/G ±10%)
オフセット電圧
型式オフセット電圧
MA3-04ADVcc/2 ±0.2V
MA3-10ADVcc/2 ±0.1V
MA3-20AD
MA3-50AD
MA3-100AD
MA3-1000AD


応答周波數
型式応答周波數 ※2
MA3-04AD0.8~1000Hz
MA3-10AD
MA3-20AD
MA3-50AD
MA3-100AD
MA3-1000AD0.8~2000Hz

※2 ±3dBにて規定

非直線性
型式非直線性
MA3-04AD±2%FS
MA3-10AD
MA3-20AD
MA3-50AD
MA3-100AD
MA3-1000AD±1.5%FS
その他仕様?定格
項目仕様?定格
供給電圧(Vcc)3~5VDC
消費電流0.5mA未満
他軸感度±10%
動作溫度?20~80℃
保存溫度?30~90℃
最大印加電圧7V

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服務熱線
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